ナノスケールMOSFET でのチャネル電子に対する長距離クーロン相互作用

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 18a-B-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_2968

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

ナノスケールMOSFET でのチャネル電子に対する長距離クーロン相互作用

*中西洸平, 唐澤貴彦, 佐野伸行

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キーワード: 18a-B-8, 半導体A（シリコン）, Siデバイス／集積化技術, 半導体

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