AlN(0001)テンプレート上にMOVPE法で成長させた高Al組成AlGaN層の微細組織

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 17p-TC-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_3428

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

AlN(0001)テンプレート上にMOVPE法で成長させた高Al組成AlGaN層の微細組織

*桑野範之, 黒木拓哉, 藤田智彰, 島原佑樹, 武富浩幸, 三宅秀人, 平松和政

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キーワード: 17p-TC-9, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 貫通転位, 窒化物半導体, 透過型電子顕微鏡

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