Si(110)表面構造のオフ角依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 17p-TJ-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_3533

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

Si(110)表面構造のオフ角依存性

山下鎮, 山本昌, *中村芳明, 吉川純, 酒井朗, 豊田英二, 佐藤元樹, 磯貝宏道, 泉妻宏治

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キーワード: 17p-TJ-5, 結晶工学, IV族結晶，IV-IV族混晶, Si(110), 半導体

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