超音波計測を用いたボロン添加FZシリコンの原子空孔観測

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 20a-TW-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_3582

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

超音波計測を用いたボロン添加FZシリコンの原子空孔観測

*馬場正太郎, 永井勇太, 赤津光洋, 小松悟, 三本啓輔, 根本祐一, 金田寛, 後藤輝孝

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キーワード: 20a-TW-2, 結晶工学, 結晶評価，ナノ不純物・結晶欠陥, 原子空孔, 半導体

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