シリコン原子空孔評価: P(VDF/TrFE)圧電薄膜を用いたシリコン単結晶の超音波測定II

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第57回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 20a-TW-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.1.0_3583

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 57

開催地: 東海大学

開催日: 2010/03/17 - 2010/03/20

シリコン原子空孔評価: P(VDF/TrFE)圧電薄膜を用いたシリコン単結晶の超音波測定II

*三本啓輔, 岡部和樹, 柳瀬隆志, 赤津光洋, 馬場正太郎, 永井勇太, 小松悟, 小野恭史, 根本祐一, 金田寛, 後藤輝孝

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キーワード: 20a-TW-3, 結晶工学, 結晶評価，ナノ不純物・結晶欠陥, シリコン原子空孔評価

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