(K,Na)NbO<sub>3</sub>圧電薄膜の微細加工特性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 16p-NJ-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_1045

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

(K,Na)NbO₃圧電薄膜の微細加工特性

*堀切文正, 柴田憲治, 末永和史, 渡辺和俊, 野本明, 三島友義

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キーワード: 16p-NJ-10, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, 圧電, 非鉛, 微細加工

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