圧電体フィルムを用いた片持ち梁型発電素子に関する研究

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 16p-NJ-16

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_1051

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

圧電体フィルムを用いた片持ち梁型発電素子に関する研究

*太田賀奈子, 古川猛夫, 中嶋宇史, 岡村総一郎

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キーワード: 16p-NJ-16, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, ポリフッ化ビニリデン, 圧電体フィルム, 発電素子

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