非鉛系(K,Na)NbO<sub>3</sub>圧電薄膜を用いたカンチレバー型MEMSデバイスの作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 16p-NJ-17

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_1052

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

非鉛系(K,Na)NbO₃圧電薄膜を用いたカンチレバー型MEMSデバイスの作製

*和家佐有宇, 横川隆司, 神野伊策, 小寺秀俊, 柴田憲治

著者情報

キーワード: 16p-NJ-17, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, KNN, カンチレバー, 圧電

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2010 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top