同軸対向プラズマフォーカスによる極端紫外プラズマ光源の高効率化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14a-ZA-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_1384

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

同軸対向プラズマフォーカスによる極端紫外プラズマ光源の高効率化

林賢志, *黒田雄介, 桑原一, 中島充夫, 河村徹, 堀岡一彦

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キーワード: 14a-ZA-6, ビーム応用, リソグラフィ, EUV, プラズマ, 放電

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