EUVリソグラフィ用レーザ生成プラズマ光源の開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14a-ZA-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_1385

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

EUVリソグラフィ用レーザ生成プラズマ光源の開発

*長野仁, 阿部保, 小森浩, 渡辺幸雄, 堀司, 石原孝信, 柿崎弘司, 住谷明, 半井宏明, 藤本准一, 溝口計

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キーワード: 14a-ZA-7, ビーム応用, リソグラフィ, LPP, リソグラフィ, 極端紫外

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© 2010 公益社団法人応用物理学会

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