極微パタン構造計測のためのコヒーレント13nm高次高調波光源の開発 I

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14a-ZA-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_1386

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

極微パタン構造計測のためのコヒーレント13nm高次高調波光源の開発 I

*永田豊, 原田哲夫, 木下博雄, 緑川克美

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キーワード: 14a-ZA-8, ビーム応用, リソグラフィ, EUV リソグラフィ, コヒーレントスキャトロメトリー顕微鏡, 高次高調波

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