ナノインプリント成形および離型に対する単分子膜処理の膜質の影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 15p-K-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_1421

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

ナノインプリント成形および離型に対する単分子膜処理の膜質の影響

*熊澤和久, 中本憲史, 藤田佳孝, 佐宗春男

著者情報

キーワード: 15p-K-5, ビーム応用, ナノインプリント, ナノインプリント, 自己組織化単分子膜

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2010 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top