フーリエ変換赤外吸収分光法を用いたCl<sub>2</sub>プラズマによるSiエッチングにおける表面および気相の反応解析

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 16a-ZA-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_1615

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

フーリエ変換赤外吸収分光法を用いたCl₂プラズマによるSiエッチングにおける表面および気相の反応解析

*宮田浩貴, 津田博隆, 鷹尾祥典, 江利口浩二, 斧高一

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キーワード: 16a-ZA-6, プラズマエレクトロニクス, プラズマエッチング, Cl2, FTIR, Infrared

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