水素イオン注入シリコンp<sup>+</sup>n ダイオードの順電流熱処理

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14a-ZD-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_2452

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

水素イオン注入シリコンp⁺n ダイオードの順電流熱処理

*中井雅文, 徳田豊, 伊藤成志, 坂根仁

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キーワード: 14a-ZD-9, 半導体A（シリコン）, 基礎物性・評価, 水素イオン注入

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