応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第71回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 14a-ZD-10
会議情報

主催: 社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

電子線を照射したSiGe S/D pMOSFETの熱処理による回復特性
*出本 竜也, 米岡 将士, 高倉 健一郎, 角田 功, 大山 英典, 中島 敏之, Mireia Gonzalez, Eddy Simoen, Cor Claeys
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キーワード: 14a-ZD-10, 半導体A（シリコン）, 基礎物性・評価, 半導体
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