第71回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 15p-ZA-21
会議情報
主催: 社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 71
開催地: 長崎大学
開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17
コンダクタンス法によるALD-Al2O3/InP界面の電気的特性評価
*田岡 紀之, 横山 正史, 金 相賢, 星井 拓也, 飯田 亮, 李 成薫, 鈴木 麗菜, 卜部 友二, 宮田 典幸, 安田 哲二, 山田 永, 福原 昇, 秦 雅彦, 竹中 充, 高木 信一
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