MBE法によるSiO<sub>2</sub>/Siパターン基板上InSbの結晶性評価II

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 16p-ZV-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_3142

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

MBE法によるSiO₂/Siパターン基板上InSbの結晶性評価II

*飯田智顕, 西野祐一, 原紳介, 藤代博記

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キーワード: 16p-ZV-11, 結晶工学, III-V族エピタキシャル結晶, InSb, Si, 選択成長

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