応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第71回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 16p-ZV-12
会議情報

主催: 社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

超高真空昇華エッチングを用いた微小GaAsファセット配列の自己安定化機能制御
*廣川 優樹, 後藤 大輝, 石渡 明日香, 牛尾 昌史, 松田 一宏, 金子 忠昭
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キーワード: 16p-ZV-12, 結晶工学, III-V族エピタキシャル結晶, GaAs, ファセット, 酸化膜
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