H<sub>2</sub>-O<sub>2</sub>触媒反応により生成した高エネルギーH<sub>2</sub>Oを用いて成長したZnOエピタキシャル薄膜の結晶構造

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第71回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 17a-ZJ-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_3783

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 71

開催地: 長崎大学

開催日: 2010/09/14 - 2010/09/17

H₂-O₂触媒反応により生成した高エネルギーH₂Oを用いて成長したZnOエピタキシャル薄膜の結晶構造

田原将巳, 三浦仁嗣, 黒田朋義, 西山洋, *安井寛治

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キーワード: 17a-ZJ-1, 合同セッション, 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, エピタキシャル成長, 結晶構造, 酸化亜鉛

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