応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第58回春季応用物理学関係連合講演会
セッションID: 24p-KX-8
会議情報

主催: 社団法人 応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

真空エレクトロスプレーを用いたCluster SIMS用イオンビーム源の開発
*藤原 幸雄, 齋藤 直昭, 野中 秀彦, 中永 泰介, 一村 信吾
著者情報
キーワード: 24p-KX-8, シンポジウム, 二次イオン質量分析法の新展開-はやぶさからバイオテクノロジーまで-, クラスターイオン, 真空エレクトロスプレー, 二次イオン質量分析
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