第58回春季応用物理学関係連合講演会
セッションID: 24p-KX-9
会議情報
主催: 社団法人 応用物理学会
会議名: 春季応用物理学関係連合講演会
回次: 58
開催地: 神奈川工科大学
開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27
ガスクラスターイオンビームを用いたTOF-SIMS分析法の実用材料への応用
キーワード:
24p-KX-9,
シンポジウム,
二次イオン質量分析法の新展開-はやぶさからバイオテクノロジーまで-,
Depth profile,
gas cluster ion beam,
TOF-SIMS
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