サファイヤ基板の大面積平坦化加工

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 24a-BC-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_1552

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

サファイヤ基板の大面積平坦化加工

*八井崇, 栗原一徳, 関谷毅, 染谷隆夫, 野村航, 大津元一

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キーワード: 24a-BC-10, 薄膜・表面, 表面物理・真空, アニール, ステップ, 均一化

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