ノボラック系ブリーチングレジストにおける感度・透過率の波長依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 24p-BJ-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_1687

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

ノボラック系ブリーチングレジストにおける感度・透過率の波長依存性

*堀内敏行, 藤井拓也, 中村賢, 平野裕志, 石川光一, 岩崎順哉

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キーワード: 24p-BJ-11, ビーム応用, リソグラフィ, ノボラック系レジスト, ブリーチング, レジスト感度

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