ノボラック系ポジ型レジストにおける現像特性のプリベーク温度依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 24p-BJ-12

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_1688

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

ノボラック系ポジ型レジストにおける現像特性のプリベーク温度依存性

*石黒啓太, 河野昭彦, 関口淳, 谷口克人, 田中初幸, 堀邊英夫

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キーワード: 24p-BJ-12, ビーム応用, リソグラフィ, Swing curve, ノボラック系ポジ型レジスト, プリベーク温度

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