表面に金属層がついた絶縁膜の帯電のEUPSによる評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 25p-KW-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_2941

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

表面に金属層がついた絶縁膜の帯電のEUPSによる評価

*大塚照久, 石塚知明, 葛西彪, 太田裕之, 秦信宏, 富江敏尚

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キーワード: 25p-KW-8, 半導体A（シリコン）, 絶縁膜技術, EUPS, 光電子分光, 帯電

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