埋め込み界面のEUPS評価のためのサブnm深さ分解能イオンスパッタ

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 25p-KW-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_2942

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

埋め込み界面のEUPS評価のためのサブnm深さ分解能イオンスパッタ

*石塚知明, 大塚照久, 葛西彪, 太田裕之, 秦信宏, 富江敏尚

著者情報

キーワード: 25p-KW-9, 半導体A（シリコン）, 絶縁膜技術, EUPS, イオンスパッタ

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2011 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top