AlN基板上に作製したAlGaNチャネルHEMTエピ

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第58回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 26a-P6-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.1.0_3302

会議情報

主催: 社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 58

開催地: 神奈川工科大学

開催日: 2011/03/24 - 2011/03/27

AlN基板上に作製したAlGaNチャネルHEMTエピ

*橋本信, 秋田勝史, 山本喜之, 矢船憲成, 作野圭一, 徳田博邦, 葛原正明, 竹田健一郎, 岩谷素顕, 天野浩

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キーワード: 26a-P6-10, 半導体B（探索的材料・物性・デバイス）, 超高速・機能デバイス, AlGaN, AlN, electric device, AlN substrate, epi

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