ガス流れ環境下におけるH<sub>2</sub>/SiH<sub>4</sub>プラズマの気相診断

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第72回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 31a-ZJ-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_1250

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

ガス流れ環境下におけるH₂/SiH₄プラズマの気相診断

*池田昌平, 石島達夫, 豊田浩孝

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キーワード: 31a-ZJ-7, プラズマエレクトロニクス, プラズマ診断･計測, SiH3ラジカル, ガス流れ, 出現質量分析法

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