レーザ吸収分光法を用いたマイクロホロカソード放電中の準安定He原子密度と温度測定

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第72回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 31a-ZJ-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_1256

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

レーザ吸収分光法を用いたマイクロホロカソード放電中の準安定He原子密度と温度測定

*井上真里, 太田貴之, 家苗毅司, 堤隆嘉, 菊地邦友, 土谷茂樹, 伊藤昌文, 堀勝

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キーワード: 31a-ZJ-13, プラズマエレクトロニクス, プラズマ診断･計測, multi-MHCL, 準安定He原子

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