<i>N</i>-フルオロピリジニウム塩を用いたシリコンの銅触媒エッチング

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第72回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 30a-W-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_2266

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

N-フルオロピリジニウム塩を用いたシリコンの銅触媒エッチング

*塚本健太郎, 打越純一, 大谷真輝, 永井隆文, 足達健二, 川合健太郎, 有馬健太, 森田瑞穂

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キーワード: 30a-W-1, 半導体A（シリコン）, 半導体表面, N-フルオロピリジニウム塩, シリコン, 光エッチング

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