高い光子取り出し効率実現に向けたGaAsコーン構造のテーパー角制御

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第72回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 31a-A-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_2564

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

高い光子取り出し効率実現に向けたGaAsコーン構造のテーパー角制御

*浅野智也, 飯島仁史, 小田島聡, 末宗幾夫

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キーワード: 31a-A-4, 半導体B（探索的材料・物性・デバイス）, プロセス技術・界面制御, GaAs, ICP-RIE

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