SiN/ITO界面反応メカニズムの解明

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第72回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 31a-A-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_2566

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

SiN/ITO界面反応メカニズムの解明

*中村勇, 伊藤康悦, 本谷宗, 河瀬和雅

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キーワード: 31a-A-6, 半導体B（探索的材料・物性・デバイス）, プロセス技術・界面制御, TEM, TFT, XPS

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