Ptゲート付きAlGaN/GaN構造における持続的な水素ガスセンシング

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第72回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 1p-H-12

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_2599

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

Ptゲート付きAlGaN/GaN構造における持続的な水素ガスセンシング

*秋山芳広, 岩形真司, 丹羽亮介, 坂下大樹, 加地徹, 杉本雅裕, 榊裕之

著者情報

キーワード: 1p-H-12, 半導体B（探索的材料・物性・デバイス）, 超高速・機能デバイス, ガス, センシング, 水素

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2011 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top