亜鉛、酸素を含有する新規な原料を用いたZnO薄膜の低温作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第72回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 2a-N-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_3463

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

亜鉛、酸素を含有する新規な原料を用いたZnO薄膜の低温作製

*稲葉孝一郎, 竹元裕仁, 豊田浩司, 羽賀健一, 徳留功一, 新宮政人, 神谷なおみ, 小嶋稔, 吉野賢二

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キーワード: 2a-N-9, 合同セッション, 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, ZnO, ジエチル亜鉛, 低温

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