単結晶n型ダイヤモンドにおけるオーミック接触の電気的特性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第72回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 30a-P1-17

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_828

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

単結晶n型ダイヤモンドにおけるオーミック接触の電気的特性

*松本翼, 加藤宙光, 大串秀世, 山崎聡

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キーワード: 30a-P1-17, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, ohmic contact, Schottky barrier height, TLM

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