縦型酸素終端ダイヤモンドMOSダイオードの絶縁特性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第72回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 30a-P1-18

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_829

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

縦型酸素終端ダイヤモンドMOSダイオードの絶縁特性

*井上晃宏, 徳田規夫, 山崎聡, 猪熊孝夫

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キーワード: 30a-P1-18, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, diamond MOS

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