HVPEによるGaNの超高速成長

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第72回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 29p-ZK-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_91

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 72

開催地: 山形大学

開催日: 2011/08/29 - 2011/09/02

HVPEによるGaNの超高速成長

*吉田丈洋, 大島祐一, 渡辺和俊, 土屋忠厳, 三島友義

著者情報

キーワード: 29p-ZK-7, シンポジウム, III-V半導体MOVPE・HVPEの反応モデリングと装置設計, 半導体

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2011 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top