ダイヤモンドの負性電子親和力を応用した真空パワースイッチ

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第59回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 18p-F3-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_1349

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

ダイヤモンドの負性電子親和力を応用した真空パワースイッチ

*竹内大輔, 牧野俊晴, 加藤宙光, 大串秀世, 山崎聡

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キーワード: 18p-F3-8, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, ダイヤモンド, 真空パワースイッチ, 負性電子親和力

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