応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第59回春季応用物理学関係連合講演会
セッションID: 17p-A6-8
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

非晶質SiGe多層膜の軟X線照射による結晶化
*木野 翔太, 野々村 勇希, 部家 彰, 松尾 直人, 天野 壮, 宮本 修治, 神田 一浩, 望月 孝晏, 都甲 薫, 佐道 泰造, 宮尾 正信
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キーワード: 17p-A6-8, 半導体A（シリコン）, Siプロセス技術, SiGe, 結晶化, 放射光
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© 2012 公益社団法人 応用物理学会
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