応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第59回春季応用物理学関係連合講演会
セッションID: 17p-A6-7
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数値制御大気圧プラズマ犠牲酸化法によるSOIウエハSi層膜厚均一化 -多電極型プラズマ発生装置の試作と評価-
*武居 弘泰吉永 圭之介佐野 泰久松山 智至山内 和人
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© 2012 公益社団法人 応用物理学会
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