原子状水素援用MBE法により作製したSi基板上β-FeSi<sub>2</sub>薄膜の電気特性評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第59回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 16p-E1-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_3135

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

原子状水素援用MBE法により作製したSi基板上β-FeSi₂薄膜の電気特性評価

*舟瀬芳人, 鈴野光史, 都甲薫, 末益崇

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キーワード: 16p-E1-6, 半導体B（探索的材料・物性・デバイス）, 探索的材料物性, MBE, 原子状水素

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