Work Function Measurement of C/W Stacked Structure on SiO<sub>2</sub> Gage Dielectrics

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

セッションID: 18p-E1-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_3171

会議情報

主催: The Japan Society of Applied Physics

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

Work Function Measurement of C/W Stacked Structure on SiO₂ Gage Dielectrics

*トクダレハンカマリ, 田中祐樹, 角嶋邦之, Parhat Ahmet, 片岡好則, 西山彰, 杉井信之, 筒井一生, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋

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キーワード: 18p-E1-5, work function, carbide

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© 2012 The Japan Society of Applied Physics

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