第59回春季応用物理学関係連合講演会
セッションID: 18p-E1-4
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 春季応用物理学関係連合講演会
回次: 59
開催地: 早稲田大学
開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18
タングステンとカーボンの積層薄膜の形成と熱処理によるシート抵抗の変化
*田中 祐樹, Kamale Tuokedaerhan, 角嶋 邦之, Parhat Ahmet, 片岡 好則, 西岡 彰, 杉井 信之, 筒井 一生, 名取 研二, 服部 健雄, 岩井 洋
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