InGaAs/GaAs(001)MBE成長中におけるIn偏析のX線回折を用いたリアルタイム評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第59回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 16a-A8-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_3464

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

InGaAs/GaAs(001)MBE成長中におけるIn偏析のX線回折を用いたリアルタイム評価

*鈴木秀俊, 佐々木拓生, 大下祥雄, 山口真史, 高橋正光

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キーワード: 16a-A8-13, 結晶工学, III-V族エピタキシャル結晶, InGaAs, MBE, 表面偏析

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