応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第59回春季応用物理学関係連合講演会
セッションID: 16p-F12-2
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

TiマスクRF-MBE選択成長法によるAlGaN/GaNナノウォールFETの作製
*菊池 昭彦, 井上 大輔, 山野 晃司, 蜂屋 大樹, 岸野 克巳
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キーワード: 16p-F12-2, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, FET, ナノ結晶, 選択成長
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