応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第59回春季応用物理学関係連合講演会
セッションID: 17p-B10-5
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疑似単結晶シリコン中の軽元素不純物が結晶欠陥に与える影響
*立花 福久楠木 宏毅土屋 佑樹鮫島 崇小島 拓人新船 幸二柿本 浩一宮村 佳児原田 博文関口 隆史大下 祥雄小野 春彦小椋 厚志
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