応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第59回春季応用物理学関係連合講演会
セッションID: 17p-A5-3
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

走査電子顕微鏡下機械試験により評価されたLSI配線の局所付着強度
*神谷 庄司, 宍戸 信之, 佐藤 尚, 小岩 康三, 大宮 正毅, 西田 政弘, 鈴木 貴志, 中村 友二, 野久尾 毅, 長澤 忠広
著者情報
キーワード: 17p-A5-3, 分科内シンポジウム, 素子間信号伝達構造界面の物理化学，その現状と今後, LSI配線, 界面強度
会議録・要旨集 フリー

詳細
PDFをダウンロード (261K)
メタデータをダウンロード RIS形式

(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)

BIB TEX形式

(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)

テキスト
メタデータのダウンロード方法
発行機関連絡先
記事の1ページ目
著者関連情報
© 2012 公益社団法人 応用物理学会
前の記事 次の記事
お気に入り & アラート

閲覧履歴
このページを共有する
feedback
 Top