Si貫通ビア電極周辺における局所歪構造の分析

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第59回春季応用物理学関係連合講演会

セッションID: 17p-A5-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.1.0_53

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 春季応用物理学関係連合講演会

回次: 59

開催地: 早稲田大学

開催日: 2012/03/15 - 2012/03/18

Si貫通ビア電極周辺における局所歪構造の分析

*中塚理, 北田秀樹, 金永ソク, 水島賢子, 中村友二, 大場隆之, 財満鎭明

著者情報

キーワード: 17p-A5-4, 分科内シンポジウム, 素子間信号伝達構造界面の物理化学，その現状と今後, シリコン貫通電極, ひずみ, マイクロ回折

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2012 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top