波長532nm DPSSレーザーによるサファイア基板のLIBWE加工

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 11p-B2-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_1004

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

波長532nm DPSSレーザーによるサファイア基板のLIBWE加工

*佐藤正健, 黒崎諒三, 川口喜三, 奈良崎愛子, 新納弘之

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キーワード: 11p-B2-13, 量子エレクトロニクス, レーザー・プロセッシング, サファイア, レーザー微細加工

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