SRAMセル安定性の一括ポストファブリケーション自己修復技術

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第73回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13a-F4-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2012.2.0_2793

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 73

開催地: 愛媛大学・松山大学

開催日: 2012/09/11 - 2012/09/14

SRAMセル安定性の一括ポストファブリケーション自己修復技術

*Anil Kumar, 更屋拓哉, 宮野信治, 平本俊郎

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キーワード: 13a-F4-4, 半導体A（シリコン）, Siデバイス／集積化技術, SRAM, Variation

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© 2012 公益社団法人応用物理学会

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